产地：韩国

我们提供OLED的完整工艺系统，也可协助用户进行进一步的工艺开发。

技术规格特点：

- 线性排列的Oled沉积系统；

- 多源沉积；

- 预处理腔：O2, CF4 等离子；

- 沉积腔#1：有机发光材料(Organic EL)沉积；

- 沉积腔#2：金属沉积；

- 手套箱；

- 封装：紫外固化；

- 衬底传输模块：使用磁性传输杆(MTR)；

- 光刻；

- 厚度控制；

- 选配的衬底加热；

- 高电导真空泵；